Патенты автора ШЭНЬ Нань (US)
Изобретение относится к производству высококачественных оптических материалов, в частности материалов, обладающих стойкостью к оптическому повреждению. Способ предотвращения повреждения, наносимого оптическим компонентам высокоинтенсивными источниками света, включает травление оптического компонента в травильном растворе, содержащем фтористо-водородную кислоту, фторид-ионы и бифторид-ионы. Способ также включает мегазвуковое и ультразвуковое перемешивание травильного раствора в ходе процесса с последующим промыванием оптического компонента в промывочной ванне и струйным промыванием. Техническим результатом изобретения является повышение стойкости оптических материалов из плавленого кварца к облучению с высокой плотностью энергии, в частности в ультрафиолетовой области спектра. 10 з.п. ф-лы. 3 ил.
