Патенты автора МИЯГАВА Тихиро (JP)

Изобретение относится к устройству для выращивания монокристаллов сапфира, которые могут быть использованы в качестве подложек для получения светоиспускающих диодов. Устройство 1 содержит тигель 20 с сырьевым материалом, расположенный в цилиндрическом нагревателе 14, размещенном в печи 10 для выращивания, теплозащитный экран 16, охватывающий нагреватель 14, и имеющий множество цилиндрических секций 16a, 16b, 16c, которые располагают вертикально друг над другом, при этом теплозащитный экран 16 дополнительно имеет каркасную секцию 17 для определения радиальных местоположений расположенных друг над другом цилиндрических секций и поддержания веса всех или части цилиндрических секций в вертикальном направлении. Изобретение обеспечивает повышение точности расположения теплозащитного экрана, который влияет на распределение температур в печи 10 для выращивания, а следовательно, и на качество кристалла. 5 з.п. ф-лы, 14 ил., 1 табл.

 


Наверх