Патенты автора Акимов Дмитрий Валерьевич (RU)

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области измерений механической силы и связанных с ней величин: момента силы, давления, массы, деформаций, линейных и угловых ускорений. Микроэлектромеханический первичный преобразователь ускорения содержит систему возбуждения и съема частотного сигнала, пластину из монокристалла, в которой выполнены прорези с образованием не менее одного чувствительного элемента, включающего в себя подвижную инерционную массу и резонатор, который является стержневым и выполнен в виде сдвоенного камертона, одни концы стержней которого жестко соединены между собой, а другие соединены через упругие шарниры с инерционной массой, в пластине дополнительно выполнены прорези с образованием участков для размещения на них контактных площадок, одна из которых расположена на любой неподвижной части чувствительного элемента, а две другие расположены напротив каждого стержня соответственно для возбуждения противофазных колебаний стержней резонатора, при этом стержни имеют постоянную или переменную ширину. Технический результат – повышение чувствительности. 4 ил.

Изобретение относится к области измерений механических параметров. Датчик резонаторный содержит основание в виде пластины из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием стержневого резонатора, поверхности которого металлизированы для образования электродной системы, и маятникового подвеса в виде двух стержней, одни концы которых присоединены к чувствительному элементу, а другие концы соединены с основанием. Части поверхностей стержней маятникового подвеса металлизированы материалом, плотность которого близка к плотности материала электродной системы стержневого резонатора. Достигаемым техническим результатом является уменьшение погрешности в условиях воздействия импульсного разогрева. 1 ил.

 


Наверх