Патенты автора МАЕДА, Акихиро (JP)
УСТРОЙСТВО ОБНАРУЖЕНИЯ УТЕЧКИ // 2545468
Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность. Сущность: устройство включает в себя: масс-спектрометрическую трубку (2), выполненную с возможностью обнаружения газа для поиска утечки, и турбомолекулярный насос (3). Турбомолекулярный насос (3) имеет множество ступеней роторов (33) и статоров (34), поочередно размещенных в корпусе (31), причем роторы (33) прикреплены к вращающемуся валу (32). Кроме того, турбомолекулярный насос (3) включает в себя источник (35) привода, выполненный с возможностью приведения во вращение вращающегося вала (32). Впускное отверстие (36), сообщающееся с испытательным образцом (TP), и соединительное отверстие (37), с которым соединена масс-спектрометрическая трубка (2), отстоят друг от друга на поверхности (31а) стенки корпуса (31). Причем поверхность (31а) стенки обращена к ротору (33а) самой верхней ступени. Обнаружение утечки выполняется, побуждая газ для поиска утечки входить в масс-спектрометрическую трубку (2) изнутри испытательного образца (ТР). Технический результат: повышение чувствительности и оперативности при обнаружении утечки. 4 ил.
