Патенты автора КАНЭКО Кёдзиро (JP)
Изобретение относится к электромагнитной установке для литья кремния, используемой при изготовлении кремниевых слитков для производства кремниевых подложек, используемых в фотоэлементах. Установка 1 содержит реакционный сосуд 100, токопроводящий тигель 200, расположенный внутри реакционного сосуда 100, индукционную катушку 300, установленную на внешней окружности токопроводящего тигля 200, на внешней периферийной поверхности токопроводящего тигля 200 на высоте, соответствующей положению границы отверждения между расплавленным кремнием S' и отвердевшим кремниевым слитком S, установлена жесткая конструкция 810 из электроизоляционного материала, причем установка выполнена с возможностью поддержания постоянного давления внутри реакционного сосуда 100 с использованием инертного газа 110, пока происходит отверждение кремния, находящегося внутри токопроводящего тигля 200, в кремниевый слиток S после его плавления до расплавленного кремния за счет индукционного нагрева в результате подачи напряжения на клеммы индукционной катушки 300. Жесткая конструкция, установленная на высоте границы отверждения, которая в наибольшей степени подвержена наружному изгибу, позволяет предотвратить наружный изгиб тигля 200, используемого в установке 1. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 пр.
Изобретение относится к установке для электромагнитного литья кремния, используемой при изготовлении кремниевых полупроводниковых слитков для кремниевых подложек, применяемых преимущественно в фотоэлементах. Установка включает печной сосуд 100, токопроводящий тигель 200, установленный внутри печного сосуда 100, а также элемент индукционной катушки 300, расположенный вокруг внешней поверхности токопроводящего тигля 200, причем установка выполнена с возможностью поддержания постоянного давления внутри печного сосуда с использованием инертного газа и с возможностью перемещения токопроводящего тигля 200 вниз вдоль центральной линии печного сосуда 100 и расплавления кремния за счет индукционного нагрева, создаваемого напряжением на клеммах, подаваемым на элемент индукционной катушки 300, с получением расплавленного кремния и с возможностью дальнейшего отверждения расплавленного кремния, при этом элемент индукционной катушки 300 содержит множество индукционных катушек 310, 320 с разной индукционной частотой, расположенных одна над другой, самая нижняя из которых имеет высокую индукционную частоту, обеспечивающую возможность поддерживания перемешивания расплавленного кремния на низком уровне и статического состояния расплавленного кремния, что приводит к уменьшению кристаллических дефектов в получаемом слитке кремния. Изобретение позволяет точно и легко изготавливать кремниевые слитки высокого качества. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 6 ил., 2 пр.
