Патенты автора Нефедова Виктория Эдуардовна (RU)
МАСС-СПЕКТРОМЕТР // 2549367
Устройство относится к области измерительной техники и, в частности к анализаторам масс-спектров, и может быть использовано при исследовании структуры вещества, изучении поверхности твердых тел и процессов взаимодействия при столкновениях частиц в газах и плазме. Технический результат - повышение точности измерения массового состава ионного потока и снижение искажения в измерениях за счет устранения краевых эффектов, присутствующих при использовании постоянных магнитов. В устройстве предусмотрен анализатор, который играет роль сепаратора по скоростям поступающих частиц потока ионов и содержит два цилиндрических электрода, размещенных коаксиально, с охватывающей их электромагнитной обмоткой, что обеспечивает комбинацию электрического и магнитного полей с ортогональной ориентацией их напряженностей. Далее в масс-спектрометре по направлению распространения потока ионов предусмотрен электростатический анализатор, который разделяет поступающий в него поток частиц с одинаковой скоростью по величине отношения энергии к заряду и выполняет функцию сепаратора по массам. Кроме того, устройство снабжено генераторами импульсов напряжений сложной формы для управления напряжением внешнего и внутреннего цилиндрических электродов, а также для управления электромагнитной обмоткой сепаратора по скоростям и электродами сепаратора по массам. Таким образом, реализуется возможность проводить с высокой разрешающей способностью измерения функции распределения ионов по скоростям для каждой определенной массы, что обеспечивает высокую точность измерения массового состава ионного потока. 6 ил.
