Патенты автора ЁЧСНЕР,Ричард (DE)
Изобретение относится к установке и способу нанесения покрытия на подложку. Установка содержит вакуумную камеру, во внутреннем пространстве которой располагают подложку для нанесения на нее покрытия и по меньшей мере одну распыляемую мишень, и устройство для определения износа распыляемой мишени. Нанесение покрытия осуществляют путем абляции мишени во время работы установки и бомбардировки подложки полученными частицами. В стенке вакуумной камеры имеется по меньшей мере одно окно. Устройство для определения износа распыляемой мишени содержит измерительное устройство для оптического измерения расстояния между по меньшей мере одной предварительно определяемой точкой снаружи вакуумной камеры и по меньшей мере одной предварительно определяемой точкой на поверхности распыляемой мишени. Измерительное устройство также содержит оценочное устройство, посредством которого корректируют один из следующего: параллакс или геометрическое искажение планарной поверхности мишени. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 6 ил.
