Патенты автора МААСС,Вольфрам (DE)
Изобретение относится к способу и устройству для нанесения на подложку сплава, состоящего из одного первого и одного второго материала в качестве компонентов сплава с переменным их соотношением и к мишени для нанесения на подложку сплава. Мишень изготавливают посредством катодного распыления и содержит по меньшей мере один первый и один второй материал в качестве компонентов сплава. Поверхность мишени имеет по меньшей мере один участок из первого материала и второй участок из второго материала. Оба участка примыкают друг к другу и образуют общую разделительную линию. Изменение соотношения компонентов сплава осуществляют путем смещения участка эрозии поперек разделительной линии и/или регулирования угла между разделительной линией и/или регулирования угла между поверхностью магнитной системы и обращенной к подложке поверхностью мишени. В результате достигается получение тонкого слоя однородного сплава с переменным составом в регулируемых и контролируемых пределах. 3 н. и 8 з.п. ф-лы, 11 ил.
Изобретение относится к способу и устройству для нанесения покрытия на горячую подложку в вакуумной камере. Осуществляют размещение подложки (20) на подложкодержателе (24) таким образом, чтобы нижняя поверхность (21а) подложки контактировала с подложкодержателем поверхность к поверхности,подъем подложки (20) на расстояние d относительно подложкодержателя, нагрев поднятой подложки через ее верхнюю поверхность (21b) с помощью нагревательного устройства (22), немедленное последующее нанесение покрытия на горячую подложку, опускание подложки на подложкодержатель (24) и охлаждение подложки. Упомянутое устройство для нанесения покрытия на горячую подложку в вакуумной камере содержит подложкодержатель (24) с подъемным устройством (23) для подъема подложки (20), нижняя поверхность (21а) которой размещена на подложкодержателе (24), нагревательное устройство (22) для нагрева поднятой подложки (20) через ее верхнюю поверхность, и средство (29) для нанесения покрытия на подложку (20) сразу после нагрева. Обеспечивается быстрый нагрев и охлаждение подложки для последующего немедленного нанесения на нее покрытия в той же самой вакуумной камере. 2 н. и 22 з.п. ф-лы, 6 ил.
Изобретение относится к установке и способу нанесения покрытия на подложку. Установка содержит вакуумную камеру, во внутреннем пространстве которой располагают подложку для нанесения на нее покрытия и по меньшей мере одну распыляемую мишень, и устройство для определения износа распыляемой мишени. Нанесение покрытия осуществляют путем абляции мишени во время работы установки и бомбардировки подложки полученными частицами. В стенке вакуумной камеры имеется по меньшей мере одно окно. Устройство для определения износа распыляемой мишени содержит измерительное устройство для оптического измерения расстояния между по меньшей мере одной предварительно определяемой точкой снаружи вакуумной камеры и по меньшей мере одной предварительно определяемой точкой на поверхности распыляемой мишени. Измерительное устройство также содержит оценочное устройство, посредством которого корректируют один из следующего: параллакс или геометрическое искажение планарной поверхности мишени. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 6 ил.
