Патенты автора ДЖОН,Хельмут (DE)
Изобретение относится к способу и устройству для нанесения покрытия на горячую подложку в вакуумной камере. Осуществляют размещение подложки (20) на подложкодержателе (24) таким образом, чтобы нижняя поверхность (21а) подложки контактировала с подложкодержателем поверхность к поверхности,подъем подложки (20) на расстояние d относительно подложкодержателя, нагрев поднятой подложки через ее верхнюю поверхность (21b) с помощью нагревательного устройства (22), немедленное последующее нанесение покрытия на горячую подложку, опускание подложки на подложкодержатель (24) и охлаждение подложки. Упомянутое устройство для нанесения покрытия на горячую подложку в вакуумной камере содержит подложкодержатель (24) с подъемным устройством (23) для подъема подложки (20), нижняя поверхность (21а) которой размещена на подложкодержателе (24), нагревательное устройство (22) для нагрева поднятой подложки (20) через ее верхнюю поверхность, и средство (29) для нанесения покрытия на подложку (20) сразу после нагрева. Обеспечивается быстрый нагрев и охлаждение подложки для последующего немедленного нанесения на нее покрытия в той же самой вакуумной камере. 2 н. и 22 з.п. ф-лы, 6 ил.
