Патенты автора Ганин Даниил Валентинович (RU)
Изобретение относится к способу и устройству (варианты) формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения. Пленку помещают в прозрачную для лазерного излучения жидкую среду с коэффициентом преломления не менее 1,5 и импульсы фокусируют посредством оптической системы с объективом с числовой апертурой не менее 0,33 или пленку располагают за пластиной из прозрачного для лазерного излучения материала с коэффициентом преломления не менее 1,5 и импульсы фокусируют посредством оптической системы с объективом с числовой апертурой не менее 0,5. Пленку располагают на расстоянии от объектива большем, чем фокусное расстояние упомянутой системы при параксиальной аппроксимации. Упомянутую пленку помещают в фокальную перетяжку с перекрытием пленки и формируют в ней отверстие, а энергию сверхкороткого лазерного импульса устанавливают из условия обеспечения плотности энергии лазерного излучения, превышающей порог разрушения материала пленки в области фокальной перетяжки. Устройство позволяет одним сверхкоротким импульсом лазерного излучения формировать отверстие диаметром до 5 мкм в пленке толщиной до 100 мкм. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 5 ил.
