Патенты автора РАММ,Юрген (CH)
ПРЕПЯТСТВУЮЩИЙ ОКСИДИРОВАНИЮ БАРЬЕРНЫЙ СЛОЙ // 2701801
Изобретение относится к способу изготовления препятствующего оксидированию барьерного слоя на подложке детали и подложке с упомянутым барьерным слоем. Осуществляют физическое осаждение из газовой фазы (PVD) непроницаемого для кислорода препятствующего оксидированию барьерного слоя на непокрытой поверхности подложки детали. Деталь содержит по меньшей мере одно из группы, содержащей сплав, интерметаллическое соединение и твердый раствор. Препятствующий оксидированию барьерный слой представляет собой оксид, имеющий такие же металлические компоненты, которые находятся в непокрытой поверхности обрабатываемой детали. Оксидный слой растет спонтанно и формируется как твердый раствор со структурой корунда, создавая препятствующий оксидированию барьерный слой, являющийся самогерметизирующимся в отношении диффузии кислорода. Упомянутый барьерный слой включает капельки, которые не полностью оксидированы. Между препятствующим оксидированию барьерным слоем и капелькой выделяются четкие границы, на которых может происходить диффузия. Покрытую деталь нагревают до температуры по меньшей мере 800°С. Препятствующий оксидированию барьерный слой остается механически стабильным в окислительной атмосфере и снижает или предотвращает диффузию кислорода в подложку. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 10 ил., 5 пр.
Изобретение относится к получению на подложке слоя на основе диоксида циркония. Применяют реактивное дуговое распыление с пульсирующим током искрового разряда и/или приложением ортогонального искровой мишени магнитного поля. Для получения слоя используют смешанную мишень, включающую элементарный цирконий и по меньшей мере один стабилизатор, или циркониевую мишень из элементарного циркония при использовании кислорода и азота в качестве реакционного газа, или смешанную мишень при использовании в качестве реакционного газа азота и кислорода. Обеспечивается получение слоев на основе диоксида циркония с кубической и/или тетрагональной структурой, обладающих требуемыми свойствами. 7 н. и 19 з.п. ф-лы, 26 ил., 5 табл.
