Патенты автора ЭРЛЭМ Мэтью Р. (US)
Изобретение относится к процессу для сортировки частиц, к процессу для квалификации автоматизированной системы для инспектирования и сортировки частиц путем ввода заданного количества зернистых частиц в поток обработки, а также к производству и квалификации зернистых частиц, имеющих, по меньшей мере, одно свойство, значение или диапазон значений которого является таким же или приблизительно таким же, как и значение или диапазон значений соответствующего свойства известных нежелательных частиц. Способ квалификации зернистых частиц, предназначенный для использования в автоматизированной системе инспектирования и сортировки включает следующие стадии: получают множество частиц, имеющих заданное распределение по форме и размерам; формируют конформный поверхностный слой на этих частицах для получения зернистых частиц с покрытием и, таким образом, придают, по меньшей мере, одно свойство со значением или диапазоном значений, который является таким же или приблизительно таким же, как значение или диапазон значений соответствующего свойства нежелательных частиц; добавляют множество зернистых частиц в поток обработки, содержащий множество частиц, которые подвергают обработке в автоматизированной системе инспектирования и сортировки; программируют автоматизированную систему инспектирования и сортировки для избирательного удаления из потока обработки зернистых частиц, имеющих заданное значение свойства или диапазон значений свойств; и сохраняют зернистые частицы, которые были детектированы и удалены из потока обработки автоматизированной системы инспектирования и сортировки. Техническими результатами изобретения являются улучшенная стабильность и надежность, уменьшение затрат и возможность точной проверки и калибровки с минимальным перерывом потока обработки. 3 н. и 16 з.п. ф-лы, 5 пр., 6 табл., 7 ил.
