Патенты автора Ерузина Елена Николаевна (RU)
Изобретение относится к области получения керамических разделительных покрытий на изделиях из керамики, ферритов и феррокерамики, применяемых в радиотехнике и микроэлектронике. Способ включает размещение изделия в рабочей камере и ее вакуумирование, предварительную плазменную обработку изделий путем ионной очистки аргоном и воздействие на изделия плазмой газа, содержащего окислитель, при Pраб=100-10-1 Па, в качестве которого используют кислород, откачку рабочего объема до остаточного давления Pост=10-1-10-3 Па, реактивное дуговое распыление катода в среде реакционного газа - кислорода или азота или смеси азота и кислорода, и осаждение на поверхности изделия керамического разделительного покрытия при рабочем давлении реакционного газа Pраб=10-2-10-1 Па. В другом варианте изобретения после откачки рабочего объема до остаточного давления Pост=10-1-10-3 Па проводят реактивное распыление мишени магнетрона при токе разряда I=1,5-20А и рабочем давлении реакционного газа, состоящего из кислорода или смеси азота с аргоном или смеси азота с кислородом и аргоном, Pраб=10-2-100 Па, причем катод или мишень магнетрона выполнены из металла, выбранного из группы: медь, алюминий, олово, хром, титан, цирконий, молибден, тантал, никель, магний, вольфрам, железо или из сплава на их основе. Изобретение направлено на получение керамических разделительных покрытий с удельным электрическим сопротивлением Rуд≥10 Ом·м. 2 н.п. ф-лы, 2 пр.
