Патенты автора Шмигель Александр Владимирович (RU)
Изобретение относится к электрохимической установке для формирования наноразмерного покрытия и может быть использовано в полупроводниковой и электронной промышленности. Установка содержит компьютер, контроллер и манипулятор 1, установленный на стойке 2 с возможностью вращения вокруг вертикальной оси и снабженный держателем 3 обрабатываемого образца 4. Вокруг стойки манипулятора 1 расположены электрохимические ячейки 5 с электродами, соединенными с одним полюсом источника тока. Погружаемый в электрохимические ячейки образец 4 соединен с другим полюсом источника тока. Держатель 3 установлен с возможностью перемещения относительно манипулятора 1, при котором образец 4 в крайнем нижнем положении держателя 3 размещается в одной из электрохимических ячеек. Одна из электрохимических ячеек выполнена в виде измерительной ячейки 7 для контроля параметров обрабатываемого образца 4. Установка снабжена трубчатой печью 8 для термообработки образца. Обеспечивается возможность определения и задания требуемых параметров получаемого наноматериала по абсолютной величине и условий их изменения. 4 ил.
