Патенты автора ЙОХАНСЕН Иб-Руне (NO)

Изобретения относятся к приборостроению, в частности к микромеханическому узлу, в особенности к регулируемому оптическому фильтру. Узел содержит первый приборный слой и второй слой подложки, по меньшей мере, частично прикрепленные друг к другу, причем приборный слой содержит ряд отражающих элементов, разделенных между некоторым числом неподвижных закрепленных отражающих элементов. При этом неподвижные элементы соединены с подложкой, а полость ограничена между подложкой и каждым подвижным элементом. Каждый подвижный элемент выполнен с возможностью создания нагруженного пружиной перемещения в полость, и при этом некоторое число диэлектрических прокладок размещены в полостях между каждым подвижным элементом и подложкой, чтобы избежать электрического контакта между ними. Диэлектрический слой имеет шероховатую поверхность. Технический результат заключается в упрощении процесса изготовления, повышении надежности и улучшении управляемости устройства. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 16 ил.

 


Наверх