Патенты автора Денисова Анастасия Аркадьевна (RU)

Изобретение относится к области электронной техники и микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении мощных приборов СВЧ-диапазона, транзисторов, силовых модулей и светодиодов. В способе металлизации алюмонитридной керамики, включающем предварительную термообработку керамики, нанесение металлизационной пасты на поверхность керамики методом сеткографии и вжигание пасты, дополнительно перед термообработкой на керамику наносят адгезионный слой суспензии толщиной 5-10 мкм, включающей алунд, коллоксилин, изоамилацетат, метанол, тальк при следующем соотношении компонентов, мас. %: алунд (окись алюминия) 33,0-34,65; коллоксилин 0,60-0,80; изоамилацетат 11,3-12,3; метанол 53,3-53,7; тальк 0,15-0,20, а термообработку проводят в среде водорода при температуре 1500-1600°C. Металлизационную пасту изготавливают из следующих материалов (мас. %): Мо 80, Mn 15, Si 5, а в качестве биндера используют смесь, содержащую этилцелюлозу-100, α-терпинеол, дибутилфталат и олеиновую кислоту. Технический результат изобретения – получение чёткого топологического рисунка металлизации. Адгезия металлизационного покрытия к алюмонитридной керамике повышается более чем в 2 раза. 3 з.п. ф-лы, 2 табл., 2 пр.

Способ относится к технологии производства алюмонитридных керамических деталей плоской конфигурации, изготовленных методом литья шликеров. Первоначально осуществляют отжиг в вакууме при температуре 1300-1400°С в течение 2 часов пластин из пористого графитоподобного нитрида бора, используемых в качестве огнеупорной оснастки при обжиге алюмонитридных деталей при остаточном давлении 10-4 мм рт.ст., нагрев пластин производят в печи со скоростью 300°С/ч, а охлаждение осуществляет вместе с печью до комнатной температуры. Обжиг алюмонитридных деталей осуществляют в две стадии: предварительно на плоские детали с обеих сторон укладывают отожженные пластины из пористого графитоподобного нитрида бора, термообработку на первой стадии осуществляют в атмосфере воздуха при температуре 500-600°С, затем детали помещают в высокотемпературную камеру, объем камеры с деталями вакуумируют до давления 0,002 МПа, после чего термообработку осуществляют в токе чистого азота под давлением 0,15-0,20 МПа при температуре 1650-1850°С в течение 2-3 часов с последующим охлаждением. Скорости нагрева и охлаждения в интервале высоких температур 1500-1850°С не должны превышать 30°С/ч, а в интервале 500-1500°С составляют 300°С/ч. Предварительный отжиг пластин обеспечивает при их многократном использовании отсутствие дефектов неоднородности структуры «мраморности» на поверхности деталей, высокий уровень физико-технических свойств и высокий процент выхода годных деталей. 1 з.п. ф-лы, 2 табл.
Керамические изделия, изготовленные предлагаемым способом, могут найти применение в различных приборах электронной техники и в радиоэлектронике, а также в качестве теплоотводов в мощных осветительных устройствах, подложек для электронагревательных элементов и термостойких электроизоляторов. При приготовлении шихты порошок нитрида алюминия с размерами частиц 1-1,3 мкм смешивают с 2,3-2,7 мас.% тонкодисперсного порошка оксида иттрия с размерами частиц менее 1 мкм и 0,1-0,3 мас.% нанопорошка оксида иттрия с размерами частиц 1-100 нм. Нанопорошок оксида иттрия вводят после его деагрегации в спиртовом растворе с помощью ультразвуковой обработки. Готовят шликер путем перемешивания шихты с органической составляющей, отливают керамическую ленту. Из полученной ленты толщиной 200-250 мкм формуют стеки толщиной 1500-1600 мкм, прессуют и разрезают на заготовки. Полученные заготовки нагревают при температуре 550-580°C и спекают под давлением азота при температуре 1750-1800°С. Нагревание и обжиг керамических заготовок проводят в капселях и на пластинах из нитрида бора. Технический результат изобретения - уменьшение пористости получаемой керамики и достижение ее теплопроводности 180 Вт/м·К и выше. 1 з.п. ф-лы, 3 пр.
Способ относится к технологии производства алюмонитридных керамических деталей плоской конфигурации, изготовленных методом литья шликеров на движущуюся ленту, и может быть использован для улучшения их физико-технических свойств и увеличения выхода годных керамических деталей после обжига. Термообработку изделий осуществляют в две стадии. Предварительно на детали с обеих сторон укладывают пластины из пористого графитоподобного нитрида бора, причем пористость пластин составляет 3-7%. Термообработку на первой стадии осуществляют в атмосфере воздуха при температуре 500-600°C, затем детали помещают в высокотемпературную камеру, объем камеры с деталями вакуумируют до давления 0,002 МПа, после чего термообработку осуществляют в атмосфере чистого азота под давлением 0,15-0,20 МПа при температуре 1650-1850°C в течение 2-3 часов с последующим охлаждением. Скорости нагрева и охлаждения в интервале высоких температур 1500-1850°C не должны превышать 30°C/ч, а в интервале 500-1500°C составляют 300°C/ч. Технический результат изобретения - снижение деформируемости деталей и повышение уровня их физико-технических свойств. 1 з.п. ф-лы, 5 пр., 1 табл.

 


Наверх