Патенты автора Редуто Игорь Владимирович (RU)
Изобретение относится к способам получения наноструктурированных материалов, в частности к способу нанесения на поверхность стекол заданного рельефа с характерным латеральным разрешением порядка сотен нанометров. Способ микропрофилирования поверхности многокомпонентных стёкол включает двухстадийную обработку поверхности стекла, в котором на первой стадии поверхность стекла приводят в контакт с шаблоном с заданным микропрофилем, являющимся анодом, с одной стороны, и с плоским катодом, являющимся подложкодержателем, с другой стороны, помещают в камерную печь, в которой осуществляют нагрев стекла до температуры в диапазоне от 50°С до температуры ниже на 20…30°С переходной температуры стекла, одновременно с нагревом стекла к аноду прикладывают постоянное напряжение 0,1-10 кВ в течение 3-350 мин, после чего образец стекла инерционно охлаждают в камерной печи и снимают электрическое напряжение. На второй стадии образец стекла с модифицированной поверхностью подвергают плазмохимическому травлению при давлении 0,1-10 Па, при котором используют индуктивно-связанную плазму, образующуюся в смеси газов гексафторида серы и кислорода в соотношении 3:1 под воздействием радиочастотного газового разряда, при этом плазмохимическое травление ведут до достижения необходимой глубины заданного микропрофиля. Технический результат – возможность формирования в стекле нано- и микропрофилей с глубиной рельефа от десятков нанометров до нескольких микрон, геометрия которых соответствует негативному изображению используемого шаблона-электрода, сокращение времени нанесения профилей. 4 ил.
Изобретение относится к способам получения наноструктурированных материалов. Технический результат изобретения заключается в получении структурированных сплошных и наноостровковых пленок без использования сложных технических средств. В стекло методом ионного обмена вводят ионы металла. Перед отжигом на стекло накладывают электрод в виде трафарета заданной формы и прикладывают к нему электрическое напряжение. Отжигают стекло в восстановительной среде. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
