Патенты автора БРИКНЕР Гудрун (AT)
Изобретение к электропроводным тонким пленкам с высокой термостойкостью. Электропроводные тонкопленочные металлические структуры с температурами длительной эксплуатации 300°C и выше представляют значительный практический интерес в ряде технических областей применения, например, таких как элементы на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Пленка состоит из смеси проводящего металла с высокой температурой плавления и обогащенных алюминием, нестехиометрических оксидов алюминия. Обогащенные алюминием оксиды алюминия действуют как термически стабилизирующие пленку проводящего металла компоненты; доля химически доступного алюминия может к тому же образовывать сплав с проводящим металлом и в результате позволяет целенаправленно влиять на существенные свойства пленки, например, такие как электропроводность. Таким образом, используя стандартные материалы и способы нанесения тонких пленок, можно экономически эффективным образом получать обладающие высокой электропроводностью и термостойкие пленки с хорошей структурируемостью и сравнительно низкой плотностью для широкого диапазона различных применений. 5 н. и 7 з. п. ф-лы, 3 ил.
