Патенты автора СУ Чанмин (US)

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Согласно способу работы сканирующего зондового микроскопа генерируют относительное периодическое перемещение между зондом и образцом, детектируют перемещение зонда, восстанавливают из продетектированного перемещения зонда мгновенную силу между зондом и образцом при взаимодействии зонда и образца, определяют интересующую временную зону, связанную с восстановленной мгновенной силой, и стробируют ее. В качестве сигнала возбуждения используют тепло, подводимое к образцу или зонду, внешнее взаимодействующее поле, электромагнитную волну, оптическое возбуждение, сигнал напряжения или магнитную силу и измеряют контролируемый физический отклик зонда на этапе генерации в интересующей временной зоне в пределах периода взаимодействия между зондом и образцом. При этом сигналы, отличные от идущих с контролируемого участка, считаются паразитными шумами. Технический результат заключается в улучшении разрешения, повышении производительности сканирования. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 63 ил.

 


Наверх