Патенты автора Петров Василий Сергеевич (RU)
Изобретение относится к технологии производства многокристальных модулей, микросборок и модулей на основе печатных плат с внутренним монтажом компонентов. Технический результат - создание способа производства максимально компактных, надежных, быстродействующих и более экономичных в изготовлении электронных узлов радиоэлектронной аппаратуры за счет отсутствия процессов пайки и сварки в изготовлении электронных узлов. Достигается за счет изготовления электронных узлов радиоэлектронной аппаратуры на гибком носителе и включает формирование рисунка на фольгированном полимере методом фотолитографии, установку бескорпусных кристаллов активной стороной вниз и чип-компонентов на основание с помощью полимерного лака, герметизацию, получение отверстий в полимерной структуре до выводов электронных компонентов методом плазмохимического травления, монтаж компонентов методом магнетронного напыления металлов в вакууме, наращивание необходимого количества слоев методами фотолитографии по полимерному фотолаку, формирование крупных внешних контактных площадок для возможности последующего монтажа на печатные платы из любого материала, как стеклотекстолита, так и из керамики, полиимида и других материалов. 13 ил.
