Патенты автора КРАССНИТЦЕР ,Зигфрид (AT)
Изобретение относится к способу нанесения покрытия на подложку путем напыления с конденсацией из газовой фазы в условиях вакуума и источнику материала для нанесения покрытия. Источник содержит мишень, имеющую переднюю и заднюю стороны и элемент крепления мишени с каналом охлаждения. Мишень задней стороной расположена на стенке упомянутого элемента крепления и зафиксирована на упомянутом элементе крепления с помощью средств фиксации. Стенка элемента крепления, на которой расположена мишень, выполнена в виде гибкой мембраны, отделяющей канал охлаждения от задней стороны мишени. На задней стороне мишени и/или на стенке элемента крепления, на которой расположена мишень, наклеена самоклеющаяся углеродная фольга. Способ нанесения покрытия на подложку состоит в напылении с конденсацией материала из газовой фазы в условиях вакуума и включает осаждение слоя материала с использованием источника материала. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 5 ил., 1 табл.
Изобретение относится к дуговому устройству для испарения материала при обработке подложки. Устройство содержит катод, анод, источник напряжения для создания на аноде положительного потенциала относительно катода. Устройство также содержит магнитные элементы, которые формируют магнитное поле над поверхностью катода. Анод (303) расположен в форме кольца вокруг кромки катода (309) в непосредственной близости от него из условия обеспечения расположения большей части силовых линий магнитного поля, создаваемого магнитными элементами (305), выходящих с поверхности катода (309), в преобладающем направлении, параллельном поверхности катода (309), и совместного с магнитным полем, создаваемым магнитными элементами (305), обеспечения вхождения силовых линий магнитного поля, выходящих из поверхности катода (309), в анод (303), если они не выходят из поверхности катода (309) в центральной области катода (309). В результате при постоянно высоком коэффициенте испарения обеспечивается нанесение слоев с малой шероховатостью поверхности. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 11 ил.
