Изобретение относится к способу определения расстояния между двумя составляющими лучами заряженных частиц в устройстве экспонирования с множеством составляющих лучей. В устройстве предусмотрен датчик, содержащий преобразовательный элемент (1), предназначенный для преобразования энергии заряженных частиц (2) в свет (3), и светочувствительный детектор (5). В преобразовательном элементе предусмотрена область поверхности датчика, в которой предусмотрен двумерный рисунок блокирующих (8) и неблокирующих областей (7) для составляющего луча. Способ содержит этапы, на которых: сканируют первым составляющим лучом двумерный рисунок, принимают свет, генерируемый преобразовательным элементом в ответ на заряженные частицы, составляющие часть первого составляющего луча, переданного через двумерный рисунок, и преобразуют принятый свет в первый сигнал с использованием светочувствительного детектора. Затем двумерный рисунок и первый составляющий луч перемещают относительно друг друга на заданное расстояние. После этого сканируют вторым составляющим лучом двумерный рисунок, принимают свет, генерируемый преобразовательным элементом в ответ на заряженные частицы, составляющие часть второго составляющего луча, переданные через двумерный рисунок, и преобразуют принятый свет во второй сигнал посредством светочувствительного детектора. Расстояние между первым составляющим лучом и вторым составляющим лучом определяют на основе первого сигнала, второго сигнала и заданного расстояния. Технический результат - повышение точности определения положения составляющего луча. 4 н. и 23 з.п. ф-лы, 12 ил.