Патенты автора Тихонравов Александр Владимирович (RU)
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ НА ОПТИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ И УСТАНОВКА ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА // 2690232
Способ включает напыление путем электронно-лучевого испарения материала покрытия в вакууме и осаждения паров на поверхности подложки при вращении подложек механизмом с планетарной передачей. Осуществляют прямой оптический контроль путем измерения спектра пропускания покрытия на каждом обороте подложки и косвенный оптический контроль по образцу-свидетелю. Для прямого и косвенного оптических контролей рассчитывается значение функции невязки напыляемого слоя. Сначала производится прямой оптический контроль, при этом остановка напыления каждого слоя осуществляется при достижении минимума его функции невязки, а после слоя, на котором значение минимума функции невязки более 1%, осуществляется косвенный оптический контроль, при этом остановка напыления каждого слоя осуществляется при достижении минимума его функции невязки. При прямом оптическом контроле определяется значение калибровочного коэффициента между прямым и косвенным оптическими контролями, причем толщина покрытия подложки и образца-свидетеля определяется по спектрам пропускания покрытий подложки и образца-свидетеля. При косвенном контроле толщина каждого слоя покрытия образца-свидетеля вычисляется путем деления расчетной толщины соответствующего слоя покрытия подложки на калибровочный коэффициент. Технический результат - повышение точности контроля толщины слоев во время их нанесения. 2 н.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного контроля толщины прозрачных пленок, наносимых на подложки в вакууме. Устройство бесконтактного широкополосного оптического контроля толщины пленок включает корпус вакуумной камеры, подложкодержатель, источник излучения, а также рабочие и контрольные образцы. Устройство также содержит спектрометр, линзы для ввода и вывода излучения из камеры. Вакуумная камера снабжена входным и выходными смотровыми окнами, через которые проходит излучение. Подложкодержатель, на котором расположены рабочие и контрольные образцы, выполнен круговым планарным и размещен на двери вакуумной камеры, при этом соответствующее отверстие на подложкодержателе остается пустым для регистрации интенсивности сигнала светлого поля. При вращении подложкодержателя привод вращения подложкодержателя генерирует один синхроимпульс за полный оборот. Технический результат - повышение компактности, увеличение точности измерений. 4 ил.
