Патенты автора ДАНСБЕРГ Михел Петер (NL)
Изобретение относится к области литографии и касается литографической системы и способа хранения позиционных данных мишени. Литографическая система включает в себя систему управления посредством обратной связи, содержащую привод для перемещения мишени, измерительную систему для измерения положения мишени и блок управления приводом. Кроме того, литографическая система включает в себя систему хранения измеренных положений, содержащую приемный буфер и блок хранения. Система управления также содержит однонаправленное соединение для передачи измеренных положений в систему хранения и выполнена с возможностью непрерывной работы независимо от системы хранения. Максимальная задержка между измерением и управлением приводом по меньшей мере на порядок величины меньше средней задержки между приемом измеренных положений в приемном буфере и сохранением измеренных положений в блоке хранения. Технический результат заключается в оптимизации способа получения и хранения позиционных данных. 2 н. и 25 з.п. ф-лы., 4 ил.
