Патенты автора ШРЕДЕР Бианка (DE)
БЕСПОРИСТЫЙ КЕРАМИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ // 2703019
Настоящее изобретение относится к беспористой керамике, которую можно использовать как стабильные по размерам подложки в областях, которые подвергаются градиентам температуры, например при производстве полупроводников. Беспористый керамический элемент имеет следующий химический состав, мас.%: SiO2 40-55, Al2O3 21-35, MgO 10-15, TiO2 1-11, ZrO2 1-8, при этом доля кристаллической фазы в упомянутой керамике составляет по меньшей мере 60% и упомянутая основная кристаллическая фаза состоит из индиалита. В качестве вторичной кристаллической фазы керамический элемент содержит рутил или ZrTiO4. Керамический элемент получают из заготовки, состоящей из первичного стекла, посредством двухступенчатого нагрева с промежуточными выдержками при температуре Т1 из интервала 550-1000°С и при температуре Т2, составляющей по меньшей мере 1100°С. Полученный материал имеет высокий модуль упругости и низкий коэффициент теплового расширения. 3 н. и 7 з.п. ф-лы, 6 ил., 2 табл.
Настоящее изобретение относится к прозрачной стеклокерамике с низким термическим расширением. Технический результат изобретения заключается в получении стеклокерамики с термическим расширением, близким к нулю. Прозрачная стеклокерамика имеет следующий состав, мас.%: SiO2 35-70; Al2O3 17-35; Li2O 2-6; TiO2 0-6; ZrO2 0-6; TiO2+ZrO2 0,5-9; ZnO 0,5-5. Стеклокерамика получена осветлением с использованием SnO2 и, по меньшей мере, одного дополнительного осветлителя, причем дополнительный осветлитель выбран из Sb2O3, SO4 2-, Br- и Cl-, в мольном отношении от 1:2 до 2:1. Стеклокерамика имеет коэффициент термического расширения 0±0,10·10-6/K в интервале температур от 0 до 50°С и содержит одну или более кристаллических фаз, выбранных из группы, состоящей из высокотемпературного кварца, кристаллов смешанного высокотемпературного кварца, китита, кристаллов смешанного китита, бета эвкриптита. 7 н. и 10 з.п. ф-лы, 2 табл.
