Патенты автора ВИЛАНД Марко Ян-Яко (NL)
Изобретение относится к способу коррекции эффекта близости, например, который можно выполнить в системе для литографии пучками заряженных частиц. Технический результат – выполнение улучшенного способа коррекции эффекта близости пучка заряженных частиц. Достигается тем, что в способе, содержащем этапы: приема цифрового топологического рисунка, который будет наноситься на мишень с использованием одного или более пучков заряженных частиц. Этап выбора основной функции близости, содержащей сумму альфа- и бета-функций близости, где упомянутая альфа-функция близости моделирует внутренний эффект близости, и упомянутая бета-функция близости моделирует внешний эффект близости, где постоянная η определяется как отношение между бета-функцией близости и альфа-функцией близости в упомянутой сумме, при этом 0<η<1. Этап определения модифицированной функции близости, которая соответствует упомянутой основной функции эффекта близости, где альфа-функция близости была заменена на дельта-функцию Дирака. И этап использования электронного процессора, выполняющего обратную свертку цифрового топологического рисунка с модифицированной функцией близости для получения скорректированного топологического рисунка. 5 н. и 23 з.п. ф-лы, 14 ил.
КОНСТРУКЦИЯ МНОГОЭЛЕКТРОДНОГО ПАКЕТА // 2621290
Изобретение относится к пакету электродов, содержащему уложенные стопой электроды (71-80) для управления пучком заряженных частиц вдоль оптической оси (A), и может использоваться для изготовления полупроводниковых структур методами литографии. Каждый электрод содержит тело электрода с апертурой для пучка заряженных частиц. Тела электродов взаимно разнесены, а апертуры электродов коаксиально совмещены вдоль оптической оси. Пакет электродов содержит электроизоляционные дистанцирующие структуры (89) между каждой парой соседних электродов для позиционирования электродов (71-80) на заранее заданных взаимных расстояниях вдоль осевого направления (Z). Каждый из первого электрода и второго электрода содержит тело электрода с одной или более опорной частью (86), при этом каждая опорная часть выполнена с возможностью размещать по меньшей мере одну дистанцирующую структуру (89). Пакет электродов имеет по меньшей мере один зажимной элемент (91-91c), выполненный с возможностью скреплять опорные части (86) первого и второго электродов, а также промежуточную дистанцирующую структуру (89). Техническим результатом является повышение точности при управления пучком заряженных частиц. 4 н. и 23 з.п. ф-лы, 15 ил.
Изобретение относится к системе заряженных частиц, такой как система многолучевой литографии, содержащей устройство-манипулятор для манипуляции одним или более пучками заряженных частиц. Заявлена группа систем заряженных частиц, таких как системы многолучевой литографии, содержащие устройство-манипулятор для манипулирования одним или более пучками заряженных частиц, при этом устройство-манипулятор содержит: плоскую подложку, содержащую, по меньшей мере, одно сквозное отверстие в плоскости плоской подложки, при этом каждое сквозное отверстие выполнено с возможностью пропускания, по меньшей мере, одного пучка заряженных частиц сквозь него, и каждое сквозное отверстие снабжено электродами, размещенными в первом наборе множества первых электродов вдоль первой части периметра упомянутого сквозного отверстия и во втором наборе множества вторых электродов вдоль второй части упомянутого периметра, и электронную схему управления, выполненную с возможностью предоставления разностей напряжения парам электродов, причем каждая пара состоит из первого электрода из первого набора и второго электрода из второго набора, в зависимости от позиции первого и второго электродов по периметру сквозного отверстия, для того, чтобы обеспечивать электрическое поле, которое является, по существу, однородным по всему сквозному отверстию. Технический результат заключается в обеспечении точного местоположения проекции пучка на устройство манипулирования и минимизации любого отклонения от оси пучка заряженных частиц. 6 н. и 30 з.п. ф-лы, 7 ил.
