Патенты автора ЧЖОУ Йи (CN)
Изобретение относится к области лазерной техники. Направляющее поток устройство для разрядной камеры лазера имеет симметричную конфигурацию и включает две пары электродов. Направляющее поток устройство содержит два ротора, которые соответствуют одной паре из двух пар электродов соответственно. Установленные положения роторов симметричны относительно плоскости симметрии разрядной камеры и находятся под электродами. Ось вращения роторов параллельна осевому направлению электродов, которое параллельно плоскости основания разрядной камеры. Указанные роторы имеют противоположные направления и идентичные скорости вращения. Под каждым из роторов установлена нижняя спойлерная пластина, выполненная с возможностью предотвращения прохождения газового потока под роторами. Причем от установленного положения под каждой парой электродов к соответствующему ротору простирается верхняя спойлерная пластина. Между концом направляющей поток пластины и верхней стороной электрода установлена верхняя направляющая поток пластина. Верхняя направляющая поток пластина и верхняя спойлерная пластина образуют постепенно сужающийся промежуточный канал. Технический результат заключается в обеспечении возможности повышения энергии и надежности лазера. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 9 ил.
Изобретение относится к области лазерной техники, в частности к однополостной двухэлектродной разрядной камере для фотолитографии и к эксимерному лазеру, включающему в себя такую разрядную камеру. Разрядная камера может содержать корпус камеры и два набора главных разрядных электродов. Корпус камеры может содержать левый отсек и правый отсек, расположенные так, что образуют симметричную камеру с двумя отсеками. Каждый из отсеков может иметь поперечное сечение, которое является относительно малым на верхней стороне, но относительно большим на нижней стороне, образуя "грушевидную" форму. Левый и правый отсеки могут иметь границу раздела и сообщаться друг с другом в плоскости симметрии всей разрядной камеры. Два набора главных разрядных электродов могут быть расположены соответственно в левом и в правом отсеках на верхней стороне. Однополостная конфигурация может использоваться для обеспечения функций конфигураций с двумя камерами, таких как, например, конфигурации типа MOPA, MOPO и MOPRA. Технический результат - упрощение устройства и синхронизация разряда в разрядной камере. 4 н. и 14 з.п. ф-лы, 11 ил.
