Патенты автора Стародубов Аркадий Геннадьевич (RU)
Изобретение относится к способу ионно-плазменного напыления покрытий на изделия в вакууме и устройству для его осуществления и может найти применение в металлургии, плазмохимии и машиностроительной промышленности. Изделия размещают внутри плазменного устройства, содержащего мишень из распыляемого материала. Осуществляют наложение сконфигурированного электрического и магнитного полей в условиях тлеющего плазменного разряда, сжатие плазменного потока и его локальную фокусировку в центре вершины мишени с образованием на ее поверхности локального плазменного пятна в пределах 1 мм2. Устройство включает размещаемую внутри вакуумной камеры и заполняемую в процессе работы плазмообразующим газом плазменную ячейку. Ячейка образована между двумя параллельно расположенными пластинами и содержит расположенные соосно катод, мишень из распыляемого материала, анод и фокусирующие электроды. Катод выполнен в виде стержневого держателя мишени. Напыляемые изделия закреплены в одном из фокусирующих электродов. Катод с мишенью установлен внутри полого цилиндрического магнита, имеющего осевую намагниченность. В результате получают покрытия высокого качества при снижении потребляемой мощности устройства. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОВОЙ СМЕСИ // 2593294
Изобретение относится к смесителям газов и может использоваться для получения смеси газов в различных технологических процессах, например для получения смеси газов, используемой в качестве плазмообразующей среды в процессе плазменного напыления. Устройство для приготовления газовой смеси, используемой при ионно-плазменном напылении, содержит камеру смешивания, сообщенную с плазменной ячейкой устройства, впускные клапаны подачи газа, установленные на входе в камеру смешивания, выпускной клапан подачи газовой смеси, установленный на выходе камеры смешивания, датчики давления, установленные в камере смешивания и в плазменной ячейке, блок управления, при этом все клапаны соединены с блоком управления и датчиками давления с обеспечением автоматического переключения клапанов. Изобретение обеспечивает возможность дискретной порционной подачи газов нужного типа и требуемого давления в камеру смешивания, что позволяет получить смесь газов с определенной пропорцией требуемых компонент, сформировать необходимый дозированный газовый поток полученной смеси в рабочую камеру (плазменную ячейку), поддерживать необходимое давление смеси газов в объеме камеры смешивания и в рабочей камере (плазменной ячейке), осуществлять управление параметрами смеси и газового потока в ручном, полуавтоматическом или автоматическом режимах. 5 ил.
