Патенты автора ИМАХОРИ Йосио (JP)

Изобретение относится к средствам автоматической регенерации литиевой мишени. Заявленные способ и устройство предусматривают наличие функции измерения толщины пленки лития литиевой мишени и возможность автоматической регенерации расходуемой литиевой мишени посредством перемещения источника осаждения из паровой фазы к литиевой мишени. Устройство (106) автоматической регенерации литиевой мишени обеспечивает автоматическую регенерацию лития литиевой мишени, при этом устройство (106) включает в себя блок (1) осаждения лития из паровой фазы для осаждения лития из паровой фазы на литиевой мишени. Блок (1) осаждения лития из паровой фазы обеспечивает осаждение лития из паровой фазы на литиевой мишени, двигаясь к стороне литиевой мишени. Техническим результатом является отсутствие необходимости в замене литиевой мишени по мере расхода лития в данной мишени, а также возможность локальной или полной регенерации лития в литиевой мишени в автоматическом режиме. 3 н. и 15 з.п. ф-лы, 12 ил.

 


Наверх