Патенты автора Кайгородова Юлия Владимировна (RU)
СПОСОБ КОНСЕРВАЦИИ ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ И КОНСЕРВИРУЮЩЕЕ ТВЕРДОТЕЛЬНУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ПОКРЫТИЕ // 2601745
Изобретение относится к технологии изготовления приборов микро- и наноэлектроники. Предложен способ консервации твердотельной поверхности, включающий последовательно осуществляемые стадию предварительной подготовки поверхности к консервации и стадию нанесения консервирующего покрытия. Первую стадию осуществляют неповреждающей очисткой твердотельной поверхности, приводящей к формированию на поверхности полярных групп. Вторую - с использованием карбонилдиимидазола, формируя покрытие, содержащее по крайней мере два монослоя, сформированных из указанного вещества. Предложено также консервирующее твердотельную поверхность покрытие, содержащее монослой, расположенный на твердотельной поверхности, и по крайней мере один монослой между внешней средой и указанным монослоем. Монослой, расположенный на поверхности, жестко связан с ней, предназначен для осуществления функционализации твердотельной поверхности. Дополнительно выполненный монослой, граничащий с внешней средой, предназначен для защиты твердотельной поверхности от воздействия среды и в целях функционализации выполнен легкоудаляемым. Технический результат - обеспечиваются предотвращение повреждения конструктивных элементов твердотельной поверхности при консервации/расконсервации и быстрая расконсервация в случае сенсоров с одновременной функционализацией. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 4 ил., 7 пр.
