Патенты автора ДАМАНИ, Раджив Дж. (CH)
Изобретение относится к способу изготовления ионопроводящей мембраны, обладающей ионной проводимостью, плазменным напылением. Мембрану осаждают в виде слоя (11) на подложку (10) в рабочей камере. Исходный материал (Р) напыляют на поверхность подложки (10) в форме рабочего пучка (2) посредством рабочего газа (G). Исходный материал вводят в плазму при низком рабочем давлении, которое составляет не более 10000 Па, и частично или полностью расплавляют в ней. В рабочую камеру (12) во время напыления подают кислород (О2; 22) с расходом, который составляет по меньшей мере 1% от общего расхода рабочего газа. Технический результат состоит в повышении качества ионопроводящей мембраны. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 пр.
