Патенты автора РУМ, Курт (LI)
Изобретение относится к способу и установке для магнетронного распыления материала с поверхности мишени с обеспечением большей процентной доли распыленного материала в форме ионов. Создают плазменный разряд с плотностью тока разряда свыше 0,2 А/см. Используют по меньшей мере два магнетронных источника распыляемого материала с предварительно заданной допустимой температурой нагрева и предварительно заданной зоной распыления. Используют блок энергоснабжения, включающий в себя по меньшей мере два генератора, которые связаны друг с другом в Master-Slave-конфигурации. Выходы упомянутых генераторов подключают параллельно, и ведомые генераторы связывают с ведущим генератором посредством системы управления. Мощность подаваемой энергии регулируют на ведущем генераторе. На второй источник подают мощность от соответствующего генератора после отключения подачи мощности на первый источник. На протяжении времени отключения распыляемая мишень имеет возможность для охлаждения, так что ее температурный предел не превышается. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 6 ил.
