Патенты автора Забелло Аркадий Гаврилович (RU)

Изобретение относится к технике измерения влажности газов. Емкостной сенсор влажности содержит чувствительный элемент конденсаторного типа, состоящий из диэлектрического субстрата, нижнего электрода из коррозионно-стойкого металла или сплава, верхнего наноструктурированного электрода из коррозионно-стойкого металла или сплава, проницаемого для паров влаги, и влагочувствительного слоя, имеющего диэлектрическую постоянную, меняющуюся в зависимости от количества паров воды в окружающей среде. При этом в изобретении используют верхний электрод заданной толщины из наноструктурированного коррозионно-стойкого металла, проницаемого для паров влаги и формируемого методом лазерного электродиспергирования, а также в качестве влагочувствительного слоя используют высокотермостойкую светочувствительную полимерную композицию на основе поли(о-гидроксиамида) - продукта поликонденсации 4,4′-диамино-3,3′-дигидроксидифенилметана с дихлоридом изофталевой кислоты, светочувствительного компонента - производного нафтохинондиазида и растворителя амидного типа при следующем соотношении компонентов, мас.%: поли(о-гидроксиамид) 12-15; светочувствительный компонент 2.4-3; амидный растворитель - остальное. Полученный рельефный микропористый влагочувствительный слой является высокогидрофобным и выдерживает нагревание до 400°C на воздухе и 450°C в инертной атмосфере. Структура верхнего электрода обеспечивает беспрепятственный доступ влаги к диэлектрику и обладает высокой адгезией к располагающемуся ниже диэлектрику. 1 табл., 4 ил., 6 пр.

 


Наверх