Патенты автора Карпов Дмитрий Николаевич (RU)

Изобретение относится к магнетронному распылительному устройству обращенного закрытого типа. В вакуумной камере с рабочим газом размещены по меньшей мере один анод, два распыляемых полых катода с расположенными внутри на держателе объектами для напыления, магнитную систему, создающую над поверхностью катодов магнитное поле. Катоды имеют форму вогнутых полых чаш, обращенных друг к другу и в рабочем состоянии разъемно соединенных горловинами, образуя таким образом замкнутый непрозрачный для распыляемого материала объем, в котором обеспечено встречное от первого и второго катодов движение атомов по траекториям, имеющим диапазон углов направленности потока распыляемого материала относительно центральной плоскости держателя объектов от 2° до 90°, осесимметрично. Технический результат заключается в обеспечении получения тонких пленок металлов и их соединений в вакууме на различных объектах, в том числе на объектах сложной геометрической формы, при минимальных невозвратных потерях распыляемого материала. 4 з.п. ф- лы, 2 ил.

Изобретение относится к теплотехнике и может быть использовано для теплообмена жидких сред (вода-вода) в технологических процессах любой отрасли народного хозяйства, преимущественно нефтеперерабатывающей, нефтехимической или смежных с ними областях. Вертикальный кожухотрубчатый теплообменник содержит корпус с трубными решетками и трубным пучком, связанным с коллекторной камерой, в которой с образованием полости установлена кольцевая обечайка, причем кольцевая обечайка выполнена перфорированной и расположена между трубной решеткой и дополнительно смонтированной сепарационно-разделительной решеткой, на которой размещена снабженная турбулизирующими направляющими и отбойным днищем конусная обечайка, образующая со стенками коллекторной камеры полость. Техническим результатом является повышение эксплуатационной надежности теплообменника. 10 з.п. ф-лы, 3 ил.

 


Наверх