Патенты автора ФЛЕМИНГ Эндрю (AU)
СИСТЕМА И СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ // 2605816
Изобретения относятся к измерительной технике, в частности к способу и системе нанопозиционирования объекта. Система содержит неподвижное основание, опору для объекта, привод для приложения силы с целью перемещения опоры относительно неподвижного основания, датчик для измерения силы нагрузки на опору и контроллер для обработки измеренной силы нагрузки с целью управления положением опоры и/или для подавления по меньшей мере одной резонансной частоты системы. Кроме того, предлагается способ управления такой системой. Технический результат заключается в повышении точности позиционирования, уменьшении времени установки и увеличении скорости сканирования. 2 н. и 41 з.п. ф-лы, 20 ил., 2 табл.
