Патенты автора Белоплотов Дмитрий Викторович (RU)
СПОСОБ ГАЗОРАЗРЯНОГО НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК // 2607288
Изобретение относится к способу газоразрядного выполнения пленок. С помощью высоковольтных импульсов напряжения с длительностью импульсов на полувысоте не более 10 наносекунд и длительностью фронта не более 4 наносекунд формируют разряд, инициируемый пучком электронов в газовых средах при давлениях от 100 Торр до атмосферного. В промежутке между высоковольтным распыляемым электродом с головкой, которая имеет радиус кривизны, равный 0,2 мм, и электропроводящей поверхностью для напыления, на которую одновременно воздействуют электронный пучок, ударная волна, ультрафиолетовое и вакуумное ультрафиолетовое излучение плазмы, сопровождающие разряд. Изобретение позволяет упростить процедуру напыления пленки. 2 ил., 1 пр.
