Патенты автора СУН Синлян (CN)
Согласно настоящему изобретению предложена эксимер-лазерная система. Камера задающего генератора может генерировать лазерные импульсы с суженной шириной линии и малой энергией посредством модуля сужения ширины линии в качестве затравочного света. Затравочный свет преломляется блоком создания волнового фронта в задающем генераторе и затем падает в камеру усилителя мощности через систему расщепления луча. Система расщепления луча, первое зеркало с высокой отражательной способностью, второе зеркало с высокой отражательной способностью и третье зеркало с высокой отражательной способностью могут образовывать четырехугольный круговой оптический путь, причем камера усилителя мощности может иметь первую пару окон Брюстера и вторую пару окон Брюстера, причем первая пара окон Брюстера расположена в первом оптическом пути кругового оптического пути вместе с разрядным электродом камеры усилителя мощности, а вторая пара окон Брюстера расположена во втором оптическом пути кругового оптического пути, параллельном первому оптическому пути усиления. Настоящее изобретение позволяет уменьшить длину кольцевого резонатора эксимер-лазерной системы с конструкцией кольцевого резонатора, повышая при этом кратность усиления и достигая усиления в режиме более глубокого насыщения по сравнению с традиционной конструкцией, тем самым улучшая характеристику выходного излучения эксимер-лазерной системы. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
СОСТАВНОЙ РЕЗОНАТОР ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА // 2607815
Составной резонатор эксимерного лазера содержит разрядную камеру, выходной модуль, модуль сужения спектральной линии излучения и модуль усиления излучения. Разрядная камера лазера содержит рабочий газ для генерации излучения под действием источника возбуждения. Разрядная камера лазера, выходной модуль и модуль сужения спектральной линии излучения составляют резонатор сужения спектральной линии, сконфигурированный для сужения спектральной линии излучения, генерируемого рабочим газом. Разрядная камера, выходной модуль и модуль усиления излучения составляют усилительный резонатор, сконфигурированный для усиления мощности излучения со спектральной линией, суженной резонатором сужения спектральной линии излучения. Технический результат направлен на сужение спектральной линии с одновременным увеличением выходной мощности излучателя. 8 з.п. ф-лы, 3 ил.
