Патенты автора ЦУЙ Хуэйжун (CN)
СОСТАВНОЙ РЕЗОНАТОР ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА // 2607815
Составной резонатор эксимерного лазера содержит разрядную камеру, выходной модуль, модуль сужения спектральной линии излучения и модуль усиления излучения. Разрядная камера лазера содержит рабочий газ для генерации излучения под действием источника возбуждения. Разрядная камера лазера, выходной модуль и модуль сужения спектральной линии излучения составляют резонатор сужения спектральной линии, сконфигурированный для сужения спектральной линии излучения, генерируемого рабочим газом. Разрядная камера, выходной модуль и модуль усиления излучения составляют усилительный резонатор, сконфигурированный для усиления мощности излучения со спектральной линией, суженной резонатором сужения спектральной линии излучения. Технический результат направлен на сужение спектральной линии с одновременным увеличением выходной мощности излучателя. 8 з.п. ф-лы, 3 ил.
