Патенты автора СОННЕНБЕРГ, Нэвилле (US)
Изобретение относится к способам формирования тонкой пленки на основе фторуглеродного полимера на поверхности детали. Осуществляют стадии, на которых пропускают исходный газ через пористый нагревательный элемент c хаотично расположенными порами, причем указанный пористый нагревательный элемент имеет температуру, достаточную для расщепления исходного газа с образованием реакционноспособных частиц (CF2)n, где n=1 или 2 радикала, при этом реакционноспособные частицы находятся вблизи поверхности детали, на которой должен быть сформирован фторуглеродный полимер, и поддерживают температуру поверхности детали ниже температуры пористого нагревательного элемента для стимулирования осаждения и полимеризации (CF2)n, где n=1 или 2 радикала, на поверхности детали. В варианте осуществления указанного способа исходный газ выбирают из группы, состоящей из CF3CF(O)CF2 (HFPO), C2F4, C3F8, CF3H, CF2H2, CF2N2, CF3COCF3, CF2ClCOCF2Cl, CF2ClCOCFCl2, CF3COOH, CF2Br2, CF2HBr, CF2HCl, CF2C12 и CF2FC1, C3F6, C3F4H2, C3F2Cl4, C2F3C13, C3F4C12, (CF3)3PF2, (CF3)2PF3, (CF3)PF4, (CF3)3P, (CF3)2P-P(CF3)2 и (CF3)2PX, и CF3PX2, где X - это F, Cl или H. Получаются тонкие пленки на основе фторуглеродного полимера, которые представляют собой гладкие однородные покрытия, характеризующиеся достаточной гибкостью для выдерживания механического изгибания трехмерной детали. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 3 ил.
