Патенты автора ИНЬ Бо (CN)

Изобретение предназначено для раскалывания поликристаллического кремния. Устройство для раскалывания содержит трансформатор (В) высокого напряжения, выпрямитель (G) высокого напряжения, зарядный конденсатор (С), размыкающий переключатель (K), бак (F) для воды и первый (1) и второй (2) электроды. Электроды погружены в бак (F) для воды. Первый и второй электроды расположены с расстоянием между ними. Первичная обмотка трансформатора подключена к питанию от сети. Первый вывод вторичной обмотки трансформатора высокого напряжения последовательно подключен к выпрямителю, размыкающему переключателю и первому электроду. Второй вывод вторичной обмотки заземлен и подключен ко второму электроду. Зарядный конденсатор подключен между общим выводом выпрямителя и переключателя и общим выводом вторичной обмотки и второго электрода. Изобретение обеспечивает получение поликристаллического кремния высокого качества. 6 з.п. ф-лы, 1 ил., 4 табл.

 


Наверх