Патенты автора ВИС Вим (NL)
Изобретение относится к метрологии, в частности к способам измерения тока. Измерительная система содержит источник тока и измерительную схему, зажим которой соединен с источником тока. Схема измерения тока содержит зажим для подключения источника питания и источник напряжения, соединенный с зажимами источника питания и выполненный с возможностью подачи сигнала напряжения возмущения к источнику питания. Причем напряжение возмущения представляет собой напряжение, присутствующее на первом входном зажиме, и имеет ту же величину, что и напряжение на входе измерительной схемы. Источник напряжения формирует сигнал с треугольной или прямоугольной формой волны. При этом источник напряжения соединен с емкостным датчиком, а величина генерируемой источником тока силы тока зависит от расстояния между емкостным датчиком и мишенью средства литографии. Схема измерения тока построена на основе операционного усилителя, а напряжение возмущения подается к источникам питания через конденсаторы или индукторы. Схема измерения тока также содержит разделяющую и интегрирующую схемы, усилители, преобразователи ток-напряжение, дифференциальные схемы, селекторы, фильтры, аналого-цифровой преобразователь и схему цифровой обработки. Технический результат - повышение точности измерений. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 34 ил.
