Патенты автора Еленкин Валерий Аверкиевич (RU)
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ // 2617189
Изобретение относится к ионно-плазменному способу нанесения износостойких покрытий на поверхности изделий из металлов и других материалов. Способ нанесения износостойкого покрытия на основе нитрида углерода на изделие включает ионно-плазменную очистку и нагрев поверхности изделия до 200-450°C, формирование ионно-плазменным осаждением в атмосфере аргона переходного слоя Ti, формирование ионно-плазменным осаждением в атмосфере азота переходного слоя TiN, ионно-плазменное осаждение алмазоподобной пленки CNx в атмосфере азота импульсным дуговым разрядом в виде кластеров углеродной плазмы плотностью 5⋅1012-1⋅1013 см-3, длительностью импульса 200-600 мкс и частотой следования импульсов 1-5 Гц. В частных случаях осуществления изобретения при формировании промежуточных слоев Ti и TiN осуществляют магнитную сепарацию плазменного потока. Слой алмазоподобной пленки CNx покрытия наносят толщиной 0,2-2,0 мкм. Нанесение слоя алмазоподобной пленки проводят чередованием нанесения алмазоподобного слоя и обработки этого слоя ионами аргона. Во время ионно-плазменной очистки к изделию подводят импульсное отрицательное напряжение. Обеспечивается повышение износостойкости поверхности изделия за счет нанесения покрытия на основе нитрида углерода. 4 з.п. ф-лы, 3 пр.
