Патенты автора Танская Татьяна Николаевна (RU)
Изобретение относится к электронной технике, в частности к конструкции и технологии изготовления многослойной комбинированной платы ГИС. Многослойная комбинированная плата ГИС состоит из тонкопленочной платы на основе LTCC керамики, на которую нанесены тонкопленочные проводящие слои, на обеих внешних поверхностях тонкопленочных LTCC платы расположены толстопленочные проводящие слои, на поверхность которых нанесен слой и напылена многослойная тонкопленочная коммутация, на поверхность диэлектрического слоя напылена многослойная тонкопленочная коммутация и резистивные слои, многослойная тонкопленочная коммутация выполнена из последовательно напыленных слоев ванадий-медь-ванадий, резистивные слои выполнены из напыленных слоев тантала. Также предложен способ изготовления многослойной комбинированной платы ГИС, включающий изготовление многослойной толстопленочной LTCC платы с напыленным на обе внешние поверхности проводящим топологическим рисунком, полученным методом химического травления, на обе внешние поверхности многослойной толстопленочной LTCC платы со встроенными элементами методом центрифугирования наносят выравнивающие слои из органического диэлектрика, на которые последовательно наносят тонкопленочные проводящие, резистивные и изолирующие диэлектрические слои напылением в вакууме. Изобретение обеспечивает повышение степени интеграции, уменьшение конечной стоимости устройства и повышение технологичности изготовления многослойной комбинированной платы ГИС. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
Использование: для изготовления тонкопленочных СВЧ-резонаторов с Брэгговским отражателем. Сущность изобретения заключается в том, что способ сглаживания поверхности пленки алюминия на диэлектрической подложке включает напыление пленки на подложку методом магнетронного распыления алюминиевой мишени в вакууме и с использованием металла иттрия, совместно распыляют алюминий и иттрий, причем иттрий равномерно распределен по поверхности в области эрозии алюминиевой мишени при отношении суммарной площади пластинок иттрия (SY) к суммарной площади области эрозии алюминиевой мишени (SAl) равном 2,0-6,0%, т.е. γ = SY/SAl = 2,0-6,0%. Технический результат - обеспечение возможности сглаживания шероховатости поверхности пленки алюминия. 4 ил., 2 табл.
