Патенты автора Квашенкина Ольга Евгеньевна (RU)

Изобретение относится к области производства электроники последнего поколения, а именно к способам соединения МОП-компонентной базы на основе кристаллов типа А3В5 с помощью реакционных многослойных фольг. Способ неповреждающего поверхностного монтажа кристаллов кремния или кристаллов типа А3В5 методом использования СВС-фольги, нанесенной в форме металлизирующего многослойного наноструктурированного покрытия на поверхности этих кристаллов, заключается в формировании многослойного наноструктурированного покрытия толщиной 30-100 мкм, состоящего из чередующейся пары материалов, способных вступать друг с другом в реакцию самораспространяющегося высокотемпературного синтеза и выбранных из никеля, алюминия, меди, ниобия, кобальта, титана, молибдена, тантала, углерода, кремния, бора, азота, при этом толщина каждого слоя 2-20 нм при условии металлизации поверхности, предназначенной для размещения кристалла, легкоплавким металлом с температурой плавления не выше 180°С и способным обеспечить смачиваемость поверхности многослойной наноструктуры, с последующим осуществлением фиксации и прижима соединяемых поверхностей, с последующей инициацией СВС-реакции посредством кратковременного энергетического импульса. Техническим результатом при реализации заявленного решения является получение прочного соединения кристаллов кремния или кристаллов типа А3В5 металлизированными материалами с сохранением функциональных свойств как самих кристаллов А3В5, так и итоговой электронной сборки на их базе при возможности их распайки в случае необходимости без разрушения кристаллов кремния и кристаллов типа А3В5. 2 з.п. ф-лы, 10 ил., 2 табл.

Изобретение относится к получению многослойной энерговыделяющей наноструктурированной фольги для соединения материалов. Способ включает приготовление исходной смеси металлических порошков планетарным перемешиванием, формование смеси порошков горячей прецизионной прокаткой через валки. В исходную смесь металлических порошков вводят легирующие добавки, после чего полученную смесь порошков просушивают и просеивают в инертной газовой среде в магнитном поле с выделением фракций более 220 мкм. Формование смеси порошков ведут горячей прецизионной прокаткой через валки посредством не менее одного прохода через валки с получением пластин толщиной не более 150 мкм, затем на полученные пластины наносят тонкий слой от 1 нм до 7 мкм пластичного металла посредством газотермического двустороннего напыления с использованием сверхчистых мишеней металлов или их сплавов, включающих по крайней мере один из следующих элементов: Ag, Cu, In, Ti, Au, Pt, Pd, после чего повторяют горячую прецизионную прокатку пластин до толщины не более 150 мкм при температуре от 30 до 150°С. Обеспечивается увеличение прочности фольги. 3 з.п. ф-лы, 1 табл., 2 ил.

 


Наверх