Патенты автора Денисов Михаил Александрович (RU)
УСТРОЙСТВО ЗАРЯДА АККУМУЛЯТОРА // 2773229
Использование: в области электротехники. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства заряда аккумулятора. Устройство заряда аккумулятора содержит микроконтроллер для управления процедурой заряда аккумулятора, соединенный с микросхемой, схему преобразования входного напряжения, энергонезависимую память для хранения данных настроек микросхемы и по меньшей мере один внутренний источник питания. К входу схемы преобразования входного напряжения подключены интерфейсы подключения одного или более фотоэлектрических модулей и внешнего источника питания, а к выходу - интерфейс подключения аккумулятора. С помощью микросхемы управляют схемой преобразования входного напряжения на основе собранных устройством заряда аккумулятора входных и выходных телеметрических данных и с помощью схемы преобразования входного напряжения преобразуют входное напряжения до уровня, требуемого для заряда аккумулятора. 3 н. и 15 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к средствам защиты, в частности к устройствам защиты нижнего электрода реактора плазмохимического осаждения из газовой фазы. Защитный экран для электрода реактора плазмохимического осаждения, который выполнен металлическим, толщиной от 10 до 1000 микрометров с габаритными размерами, соответствующими размерам электрода плазмохимического реактора, и имеющего отверстия в местах расположения отверстий на электроде реактора плазмохимического осаждения. В частных случаях осуществления изобретения указанный экран содержит дополнительное защитное покрытие, выполненное из нитрида кремния или карбида кремния, или оксида алюминия, или выполненное никелированием для повышения износостойкости или для повышения химической стойкости. Экран может быть выполнен из цельного металлического листа или из отдельных металлических составных элементов. Обеспечивается снижение износа электрода реактора плазмохимического осаждения. 4 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 пр.
Изобретение относится к технологическому оборудованию, используемому в процессах обработки пластин полупроводников. Способ переворота подложек включает установку первого подложкодержателя с посадочными местами, в которых расположены подложки, на поворотный стол при помощи механизма загрузки, сверху на первый подложкодержатель устанавливается второй подложкодержатель, и они фиксируются между собой, далее производят переворот стола, затем выгружают подложкодержатели механизмом выгрузки с последующим разъединением подложкодержателей таким образом, что пластины остаются на втором держателе подложек для последующей обработки и нанесения слоев на вторую сторону подложек. Загрузку и выгрузку подложек осуществляют в ручном режиме при помощи подкатного столика или в автоматическом - при помощи манипулятора. Устройство переворота подложек содержит механизм загрузки и/или выгрузки, поворотный стол, установленный на станине при помощи шарниров поворотного механизма, на столике установлены два подложкодержателя, соединенные между собой при помощи фиксаторов. Техническим результатом является повышение производительности, снижение контакта подложек с посторонними предметами при перевороте подложек и, как следствие, повышение качества подложек. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
