Патенты автора МУФЛЕР Пирмин (DE)
В устройстве для обработки, в частности для травления и/или проявления подложек (17), в частности пластин, содержащем вращательную тарелку (1), вращательная тарелка (1) имеет зазор (3) Вентури. Устройство содержит источник среды под давлением и имеет по меньшей мере одно отверстие (13) для выпуска среды под давлением, причем указанное по меньшей мере одно отверстие расположено в средней области вращательной тарелки. Изобретение позволяет избежать повреждения и/или загрязнения задней стороны пластины. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 6 ил.
