Патенты автора МОРИНАГА, Хитоси (JP)
ПОЛИРУЮЩИЙ СОСТАВ // 2620836
Изобретение относится к полирующим составам и может быть использовано при полировке подложек из твердых и хрупких материалов. Полирующий состав содержит, по меньшей мере, воду и диоксид кремния. Удельная площадь поверхности диоксида кремния составляет 30 м2/г или более. Используют диоксид кремния, имеющий размер частиц от 10 до 50 нм, и диоксид кремния, имеющий размер частиц от 60 до 300 нм, каждый из которых содержится в полирующем составе в количестве 2% по массе или более. Значение, полученное при делении упомянутых большего среднего размера частиц диоксида кремния на упомянутый меньший средний размер частиц диоксида кремния, составляет 2 или более. В результате обеспечивается высокая скорость полирования подложек из твердого и хрупкого материала с сохранением скорости в течение длительного периода времени при неоднократном использовании полирующего состава. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 2 табл.
