Патенты автора УРБАНУС Виллем Хенк (NL)
КОНСТРУКЦИЯ МНОГОЭЛЕКТРОДНОГО ПАКЕТА // 2621290
Изобретение относится к пакету электродов, содержащему уложенные стопой электроды (71-80) для управления пучком заряженных частиц вдоль оптической оси (A), и может использоваться для изготовления полупроводниковых структур методами литографии. Каждый электрод содержит тело электрода с апертурой для пучка заряженных частиц. Тела электродов взаимно разнесены, а апертуры электродов коаксиально совмещены вдоль оптической оси. Пакет электродов содержит электроизоляционные дистанцирующие структуры (89) между каждой парой соседних электродов для позиционирования электродов (71-80) на заранее заданных взаимных расстояниях вдоль осевого направления (Z). Каждый из первого электрода и второго электрода содержит тело электрода с одной или более опорной частью (86), при этом каждая опорная часть выполнена с возможностью размещать по меньшей мере одну дистанцирующую структуру (89). Пакет электродов имеет по меньшей мере один зажимной элемент (91-91c), выполненный с возможностью скреплять опорные части (86) первого и второго электродов, а также промежуточную дистанцирующую структуру (89). Техническим результатом является повышение точности при управления пучком заряженных частиц. 4 н. и 23 з.п. ф-лы, 15 ил.
