Патенты автора Милисевик Игорь (NL)
Настоящее изобретение относится к устройству для осуществления процесса плазмохимического осаждения из паровой фазы. Технический результат заключается в том, чтобы резонатор более тщательно согласовывался с плазмой, снижая тем самым вероятность возникновения дугового разряда. Устройство содержит цилиндрический резонатор, в котором выполнена внешняя цилиндрическая стенка, окружающая полость резонатора, которая имеет по существу осесимметричную форму относительно цилиндрической оси, при этом в резонаторе также выполнены участки боковых стенок, ограничивающие полость резонатора в противоположных направлениях по оси цилиндра. Также устройство включает в себя волновод СВЧ-излучения, проходящий через внешнюю цилиндрическую стенку в полость резонатора. Длина полости резонатора в цилиндрическом направлении изменяется как функция радиального расстояния к цилиндрической оси, резонатор также содержит кольцевой элемент, образующий по меньшей мере частично боковую поверхность указанной полости в цилиндрическом направлении. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.
