Патенты автора Пузык Михаил Владимирович (RU)
Изобретение относится к технологии получения пленок аморфного кремния и может быть использовано в современной микроэлектронике, оптоэлектронике и интегральной оптике для создания интегральных схем, тонкопленочных солнечных элементов и транзисторных матриц большой площади для жидкокристаллических дисплеев. Способ нанесения тонкого слоя аморфного кремния на подложку включает обеспечение контакта поверхности подложки со светочувствительным веществом, содержащим кремний, и направление на поверхность контакта поверхности подложки с содержащим кремний светочувствительным веществом ультрафиолетового излучения, обеспечивающего протекание фотохимической реакции с образованием слоя аморфного кремния. В качестве светочувствительного вещества, содержащего кремний, используют галогенид кремния, на поверхность контакта с подложкой которого направляют ультрафиолетовое излучение с длиной волны 100-350 нм и плотностью мощности 1-15 мВт/см2 и обеспечивают в течение 0,6-15 мин при температуре 1-140°С и нормальном давлении получение слоя аморфного кремния толщиной 50-400 нм. В частном случае осуществления изобретения в качестве материала подложки используют сапфир. Обеспечивается упрощение технологии, снижение затрат на производство, а также усиление безопасности при реализации технологического процесса нанесения тонкого слоя аморфного кремния на подложку. 1 з.п. ф-лы, 1 пр.
Зеркало и способ его изготовления // 2628037
Изобретение может быть использовано для создания отражательных оптических элементов, в том числе внеатмосферных. Зеркало включает подложку, разделительный и отражающий слои. Подложка выполнена из углеродсодержащего композиционного материала. Разделительный слой выполнен из чистого кремния. Способ изготовления включает получение подложки из углеродсодержащего композиционного материала, формирование на ее поверхности разделительного слоя, последующую оптическую обработку разделительного слоя и нанесение отражающего слоя. Разделительный слой формируют из чистого кремния путем обеспечения контакта подложки со светочувствительным веществом, содержащим кремний, облучения светочувствительного вещества УФ-излучением, что приводит к фотохимической реакции, в результате которой на поверхность подложки наносится разделительный слой чистого кремния. Технический результат - повышение эксплуатационных свойств зеркала, упрощение технологии его изготовления. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
